基本信息

現象簡(jiǎn)介

薄膜的沉積生長(cháng)就是通過(guò)固態(tài)生長(cháng)表面與被其吸附的氣相產(chǎn)物之間的異相反應來(lái)進(jìn)行的。

薄膜的沉積方法可以分為兩個(gè)不同的反應機構

化學(xué)氣相沉積（Chemical vapor deposition, CVD）和物理氣相沉積（Physical vapor deposition，PVD）。

均相反應與異相反應

均相反應

在單一固相、氣相、液相中進(jìn)行的化學(xué)反應，即在反應過(guò)程中與其他物相沒(méi)有物質(zhì)交換的反應。

固體均相反應是指在單一的固相中結構組元發(fā)生的局域重排過(guò)程。

例如在鎳鋁尖晶石NiAl2O4中，鎳和鋁離子分別占據氧離子構成的四面體和八面體格位。在溫度變化時(shí)，鎳和鋁離子在兩種格位上的分布可以發(fā)生變化。這種離子格位的重排反應可以利用鎳離子的光譜變化測定。

在均相反應中，不存在原子或離子的長(cháng)程運動(dòng)和組合物相的體積也不發(fā)生改變。材料的很多相變過(guò)程，特別是二級相變過(guò)程屬于均相反應。

異相反應

在兩相或者三相中進(jìn)行的化學(xué)反應，即在反應過(guò)程中與其他物相具有物質(zhì)交換的反應。

例如：以酶免反應為例，一個(gè)抗體包被在聚苯乙烯微孔板上（為固相），而被檢測的抗原在液體中（為液相），他們的反應是處于兩個(gè)相中，稱(chēng)為異相反應。一般檢測大分子用此法。如肝炎標志物，腫瘤標志物和自身抗體等。而抗原和抗體都是在液相中，所形成的反應體系為均相反應，一般檢測小分子，如嗎啡，器官移植中抗排異藥物的檢測等可用此法。